*一、项目基本情况

项目编号：0664-2540SUMECZF114

项目名称：东南大学电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购

预算金额：560.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：548.000000 万元（人民币）

采购需求：

1、反应腔由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率；腔壁可加热；内腔壁耐氟基、氯基以及其他常用刻蚀气体刻蚀；本底真空≤ 1E-6 mbar；真空漏率≤ 2E-4 mbar·l/s；兼容8英寸及以下直径的晶圆和不规则小片；不同尺寸样片之间的切换，无需反应腔的开腔破真空。

2、上、下电极之间的距离可电动调节、以优化工艺；下电极配置机械卡盘和背氦冷却，采用动态温度控制技术功能，配置外置循环冷却器和内置加热器；下电极温度控制范围不小于-20 °C到+200 °C，控温精度≤ ±1 °C。

本项目接受进口产品。

本项目所属行业：工业。

本项目(非专门)面向中小企业采购。

本项目(非专门)面向监狱企业采购。

本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。

最高限价：548万元（境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理费），超过最高限价的为无效投标文件

项目编号：0664-2540SUMECZF114（SEU-ZB-250492）

合同履行期限：境外产品：开具信用证后300天内设备安装调试合格。境内产品：合同签订后300天内设备安装调试合格。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：（1）如为进口产品，需提供有效的产品授权书。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。

三、**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com