*一、项目基本情况

项目编号：SEU-ZB-250655

项目名称：东南大学电子科学与工程学院原子层沉积系统采购

预算金额：48.000000 万元（人民币）

采购需求：

电子科学与工程学院采购原子层沉积系统1套，主要技术要求如下：

①腔室：外热式单腔腔室，真空环境下无加热器，前驱体源不可以任何方式接触加热器，反应腔室可放下最大8英寸晶圆；

②反应温度：最高不超过150℃，温度控制精度±1℃,可以在≤100℃下制备SnO2；

③标准加热液态前驱体源3路，配置swagelok高温快速ALD阀（响应时间＜10ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃。

合同履行期限：详见采购文件

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

非专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

3.本项目的特定资格要求：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照复印件）。（2）投标供应商须提供法定代表人授权书原件、法定代表人身份证复印件、授权代表身份证复印件和授权代表在公司内近3个月内的社保缴纳证明（如果是法定代表人直接参与投标的可以不提供授权书）。

三、**

本招标项目仅供正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击 登录 或 注册 ，联系工作人员办理会员入网事宜，成为正式会员后方可获取详细的招标公告、报名表格、项目附件及部分项目招标文件等。

联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com